中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）在SEMICON China 2021期间正式发布了新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo Twin-Star，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。
基于中微公司业已成熟的单台反应器的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术和双台反应器的Primo平台，Primo Twin-Star为电介质前道/后道制程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决方案。它的创新设计包括：Primo Twin-Star使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应，通过采用多区温控静电吸盘（ESC）增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。 凭借这些优异的性能和其他特性，与其他同类设备相比，Primo Twin-Star 以更小的占地面积、更低的生产成本和更高的输出效率，进行ICP适用的逻辑和存储芯片的介质和导体的各种刻蚀应用，并用于功率器件和CMOS图像传感器（CIS）的刻蚀应用。由于Primo Twin-Star反应器在很多方面采取了和单台机Primo nanova相同或相似的设计，在众多的刻蚀应用中，Primo Twin-Star显示了和单台反应器相同的刻蚀结果。这就给客户提供了高质量、高输出和低成本的解决方案。 中微公司的Primo Twin-Star刻蚀设备已收到来自国内领先客户的订单。目前，首台Primo Twin-Star设备已交付客户投入生产，良率稳定。公司还在进行用于不同刻蚀应用的多项评估。Primo Twin-Star设备优化了中微公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备产品线。 “现在的制造商对于生产成本日益敏感，我们的目标是为客户提供技术创新、高生产率和高性价比的ICP刻蚀解决方案。”中微公司集团副总裁兼等离子体刻蚀产品事业总部总经理倪图强博士说道，“Primo Twin-Star设备已在各类前道/后道制程、用于功率器件和CIS应用的深沟槽隔离刻蚀（DTI）中表现出卓越的性能。通过提供兼具这些优异性能和高性价比的解决方案，我们不仅帮助客户解决了技术难题，同时最大程度地提升了其投资效益。” Primo Twin-Star是中微公司的注册商标。 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。 责任编辑：lqCMOS工艺流程介绍 CMOS工艺流程介绍，带图片。n阱的形成 1. 外延生长 发表于 07-01 11:23 •
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EV-VN7040AJ EV-VN7040AJVN7040AJ评估板 的单IC应用板专用于VN7040AJ-E 提供电连接和热散热，易于成型 常规器件具有 与多传感模拟反馈 极低的待机电流 单信道的智能高侧驱动器3伏和5伏CMOS输出 的多传感诊断功能 复用模拟的反馈：具有高精度比例电流镜，V CC 电源电压和T CHIP 设备温度 过载和短路到地（功率限制）指示 热关断指示 断开状态开放负载检测 输出短路到V CC 检测 感测启用/禁用 栅栏 欠压关断 过电压钳位 负载电流限制 自限制的快速热吨ransients 可配置锁断有关过热或功率限制与专用故障复位销 第V CC 反向电池与外部部件 静电放电保护 此板提供了一种简单的方式来连接意法半导体... 发表于 05-20 10:05 • 260次
EV-VND7030AJ EV-VND7030AJVND7030AJ评估板 的单IC应用板专用于VND7030AJ 提供电连接和热散热，易于成型 常规器件具有 双通道智能高侧驱动器，具有多传感模拟反馈 极低的待机电流 使用3伏和5伏CMOS输出 诊断功能 复用模拟的反馈：具有高精度比例电流镜，V CC 电源电压和T CHIP 设备温度 过载和短路到地（功率限制）指示 热关断指示 断开状态开放负载检测 输出短路到V CC 检测 感测启用/禁用 栅栏 欠压关断 过电压钳位 负载电流限制 自限制性快速热瞬变的 可配置锁断有关过热或功率限制与专用故障复位销 的地损耗和损失V CC 反向电池与外部部件 静电放电保护 此板提供您连接意法半导体一种简单的方法... 发表于 05-20 10:05 • 345次
AR0237AT CMOS图像传感器 数字 2.1 MP /全高清 1 / 2.7英寸 美半导体的AR0237AT是一款1 / 2.7英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为1928（H） 1088（V）。它可以在线性或高动态范围模式下捕获图像，并具有滚动快门读数。它包括复杂的相机功能，如像素内装箱，窗口以及视频和单帧模式。它专为低光和高动态范围的场景性能而设计。它可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR0237AT可以产生非常清晰，清晰的数码照片，并且能够捕捉连续视频和单帧，使其成为各种应用的理想选择，包括监控和高清视频。
AR0238 RGB-IR CMOS图像传感器 2.1 MP 1 / 2.7 RGB-IR RGB-IR是一款1 / 2.7英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为1928（H）x 1088（V）。它采用滚动快门读数捕获线性或高动态范围模式的图像，并包括复杂的相机功能，如像素内合并，窗口以及视频和单帧模式。它专为低光和高动态范围场景性能而设计，可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR0238 RGB-IR集成了在一个传感器中进行白天彩色成像和夜间近红外成像的能力，无需机械红外截止滤波器，这种滤波器可能响亮，大，导致重新聚焦问题并且维护成本高，非常适合家庭安全和其他监控应用，其中照明条件可能会在相机预期工作期间发生剧烈变化。
AR0234AT 带全局快门的1 / 2.6英寸2.3 Mp CMOS数字图像传感器 AT是1 / 2.6英寸2Mp CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为1920（H）x 1200（V）。它采用了全新的创新全局快门像素设计，针对以每秒120帧的全分辨率精确快速捕捉移动场景进行了优化。该传感器可在低光和明亮场景下产生清晰，低噪声的图像。它包括复杂的相机功能，如自动曝光控制，窗口，行跳过模式，列跳过模式，像素分级以及视频和单帧模式。它可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR0234AT产生极其清晰，锐利的数字图像，具有业界领先的全局快门效率，并且能够捕获连续视频和单帧，使其成为包括汽车车厢系统在内的广泛应用的理想选择。
AR0230AT CMOS图像传感器 2 MP 1/3 AT是一款1 / 2.7英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为1928Hx1088V。它可以在线性或高动态范围模式下捕获图像，并具有滚动快门读数。它包括复杂的相机功能，如像素内装箱，窗口以及视频和单帧模式。它专为低光和高动态范围的场景性能而设计。它可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR0230AT可生成非常清晰，锐利的数码照片，并且能够捕捉连续视频和单帧，使其成为各种应用的理想选择。
ARX3A0 560 x 560超低功耗CMOS图像传感器 基于2.2μmBSI像素 最高可达每秒360帧 是一款突破性的CMOS成像传感器。 ARX3A0设计为超小型（1/10英寸光学格式）和超低功耗，为物联网设备，无人机和机器人技术带来了新的选择。该产品具有创新的超级低功耗模式，在激活时功耗小于2.5mW，可以检测运动（或照明条件的变化）并唤醒系统的其余部分。能够达到每秒360帧意味着在许多情况下，ARX3A0可以像全局快门传感器一样工作，同时仍具有2.2 m滚动快门像素的功率，尺寸和性能的所有优势。评估套件和我们行业领先的DevWare评估软件是可用的。请联系您当地的安森美半导体销售代表。
AR0237SR CMOS图像传感器 2.1 MP 1 / 2.7 更低成本 是一款1 / 2.7英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为1928（H）x 1088（V）。它采用滚动快门读数捕获线性或高动态范围模式的图像，并包括复杂的相机功能，如像素内合并，窗口以及视频和单帧模式。它专为低光和高动态范围场景性能而设计，可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR0237可以产生非常清晰，锐利的数码照片，并且能够捕捉连续视频和单帧，使其成为各种应用的理想选择，包括监控和高清视频。
AR1337 CMOS成像传感器 13 MP 采用SuperPD™PDAF技术 是一款采用SuperPD™PDAF技术的13万像素CMOS成像传感器。这款先进的传感器具有独特的PDAF微透镜和PDAF图案技术，在低光照条件下具有出色的自动对焦性能。采用1.1μm像素构建，提供符合行业标准的1 / 3.2“光学格式，使AR1337具有适合大批量设计的尺寸。图像质量由领先的量子效率和灵敏度驱动，同时保持低读取噪声。这种组合可在明亮的日光或低室内照明条件下提供出色的图像。 AR1337以每秒30帧的速度运行在13 MP，并支持每秒30帧的4k2k视频和高达每秒60帧的全高清1080P视频。 特性 优势 SuperPD™PDAF技术 领先的低光自动对焦性能 独特的PDAF图案和微透镜技术 高精度相位检测自动聚焦（PDAF）功能 片上坏像素校正和AF计算 简化的相机模块积分校准和与后端应用处理器的集成 具有低读取噪声的高量子效率和灵敏度 卓越的图像质量，尤其是在光线不足 应用 终端产品 智能手机相机 平板电脑相机 智能手机 平板电脑 电路图、引脚图和封装图... 发表于 07-29 17:02 • 751次
AR1011 CMOS图像传感器 10 MP 1 HS是一款1080万像素，1英寸光学格式图像传感器，结合了高分辨率成像和3.4微米DR-Pix（动态响应像素），可动态调整以提供卓越的低光性能。在全分辨率下，AR1011HS提供60帧/秒（fps）视频;同时跳至120 fps的1080p高清模式。该传感器非常适合需要高分辨率的高端监控摄像系统，如电子平移，倾斜，变焦（ePTZ）等具有惊人的低光能力的功能。 4K超高清（3840 x 2190）分辨率为每秒60帧的模式，使传感器也成为专业消费类广播相机的理想选择。 应用 相机 安全 电路图、引脚图和封装图... 发表于 07-29 17:02 • 453次
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AR1335 CMOS图像传感器 13 MP 1/3 是一款1 / 3.2英寸CMOS有源像素数字图像传感器，像素阵列为4208H x 3120V。 AR1335数字图像传感器采用突破性的1.1μm像素技术，通过领先的灵敏度，量子效率和线性全阱提供卓越的低光图像质量。这使得图像质量可以与数码相机相媲美。 AR1335采用专注于低功耗的传感器架构和低Z高度的高射线角度（CRA），是智能手机和其他移动设备应用的理想选择。它集成了复杂的片上相机功能，如窗口，镜像，列和行跳过模式以及快照模式。它可通过简单的双线串行接口进行编程。 AR1335传感器可以高达每秒30帧（fps）的速度生成全分辨率图像，并支持高级视频模式，包括4K 30fps，1080P 60fps和720P 120fps。 特性 13MP CMOS传感器，采用先进的1.1μm像素BSI技术 数据接口：2,3和4通道MIPI 可用于MIPI的比特深度压缩：10-8和10-6以降低带宽 启用立体视频捕获的3D同步控制 6.8 kbits一次性可编程存储器（OTPM） 可编程控制器：增益，水平和垂直消隐，自动黑电平偏移校正，帧大小/速率，曝光，左右和上下图像反转，窗口大小和平移 两个片上锁相环路（PLL）振荡器，具有超低噪声性能 片上... 发表于 07-29 16:02 • 1200次
AR0543 CMOS图像传感器 5 MP 1/4 美半导体专注于卓越的像素性能，为该传感器的卓越图像质量奠定了基础，具有卓越的色彩精度，低光灵敏度和低噪声水平.AR0542是一款1/4英寸CMOS有源像素数字图像传感器集成了复杂的片上相机功能，如窗口，镜像，列和行跳过模式以及快照模式。它可通过简单的双线串行接口进行编程，功耗非常低。 应用 移动 电路图、引脚图和封装图 发表于 07-29 16:02 • 419次
AR0261 CMOS图像传感器 2 MP 1/6 美半导体的AR0261是一款200万像素传感器，可提供原始1080p分辨率和卓越的图像质量，满足严格的外形尺寸要求（z高度小于3.5mm），适用于移动，平板电脑和移动设备中的超薄全高清视频应用笔记本市场。该传感器具有1/6英寸光学格式和采用安森美半导体A-PixHS（tm）技术的新1.4微米像素，可提供出色的低光性能。新型传感器提供1080p / 60fps或720p / 60fps的高清视频，对于清晰，清晰的视频捕捉至关重要。 特性 具有高级1.4um像素BSI的2 MP CMOS传感器技术 数据接口：1和2通道移动行业处理器接口（MIPI） 可用于MIPI接口的比特深度压缩：10-8和10-6为全帧速率应用启用低带宽接收器 启用立体视频捕获的3D同步控件 隔行扫描多重曝光读数，支持高动态范围（HDR）静止和视频应用 8.8kbits一次性可编程存储器（OTPM），用于存储阴影校正系数和模块信息 可编程控制：增益，水平和垂直消隐，自动黑电平偏移校正，帧大小/速率，曝光，左右和上下图像反转，窗口大小和平移 用于改善EMI特性的片上双锁相环（PLL）振荡器结构 卓越的低光性能 低暗电流 简单的双线串行接口 ... 发表于 07-29 16:02 • 373次
AR0521 CMOS图像传感器 5.1 MP 1 / 2.5 是一款1 / 2.5英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为2592（H）x 1944（V）。它通过滚动快门读数捕获线性或高动态范围模式的图像，并包括复杂的相机功能，如分档，窗口以及视频和单帧模式。它专为低亮度和高动态范围性能而设计，具有线路交错T1 / T2读出功能，可在ISP芯片中支持片外HDR。 AR0521可以产生非常清晰，锐利的数字图像，并且能够捕获连续视频和单帧，使其成为安全应用的最佳选择。 特性 5 Mp为60 fps，具有出色的视频性能 小型光学格式（1 / 2.5英寸） 1440p 16：9模式视频 卓越的低光性能 2.2 m背面照明像素技术 支持线路交错T1 / T2读出以启用ISP芯片中的HDR处理 支持外部机械快门 片上锁相环（PLL）振荡器 集成颜色和镜头阴影校正 精确帧率控制的从属模式 数据接口：♦HiSPi（SLVS） - 4个车道♦MIPI CSI-2 - 4车道 自动黑电平校准 高速可配置上下文切换 温度传感器 快速模式兼容2线接口 应用 终端产品 视频监控 高动态范围成像 安全摄像头 行动相机 车载DVR 电路图、引脚图和封装... 发表于 07-29 16:02 • 1510次
AR0835 CMOS图像传感器 8 MP 1/3 图像传感器是一款1 / 3.2“光学格式1.4微米像素传感器，能够以每秒42帧的速度捕获其完整的8 MP传感器分辨率，以60fps的速度捕获1080P视频.A-PixHS（tm ）技术将安森美半导体的第二代背照式（BSI）像素技术和先进的高速传感器架构结合在一起，实现了许多创新功能。它旨在实现低z高度相机模块，以满足OEM和移动设备制造商的需求。 特性 高动态范围 应用 移动 电路图、引脚图和封装图... 发表于 07-29 16:02 • 387次
AR0522 CMOS图像传感器 5.1 MP 1 / 2.5 近红外增强 是一款1 / 2.5英寸CMOS数字图像传感器，有源像素阵列为2592（H）x 1944（V）。它通过滚动快门读数捕获线性或高动态范围模式的图像，并包括复杂的相机功能，如分档，窗口以及视频和单帧模式。它专为低亮度和高动态范围性能而设计，具有线路交错T1 / T2读出功能，可在ISP芯片中支持片外HDR。 AR0522可生成非常清晰，锐利的数码照片，并且能够捕捉连续视频和单帧，使其成为各种应用的理想选择。 特性 5 Mp，60 fps，优异的视频性能 小光学格式（1 / 2.5英寸） 彩色滤光片阵列：RGB和单色 1440p模式适用于16：9视频 卓越的低光性能 2.2 m背面照明像素技术 支持线路交错T1 / T2读出以启用ISP芯片中的HDR处理 支持外部机械快门 片上锁相环（PLL）振荡器 集成颜色和镜头着色校正 用于精确帧率控制的从模式 数据接口：♦HiSPi（SLVS） - 4条车道♦MIPI CSI-2 - 4车道 自动黑电平校准 高速可配置上下文切换 温度传感器 快速模式兼容2线接口 近红外线增强 应用 终端产品 视频监控 高动态范围成像 机器视觉... 发表于 07-29 16:02 • 887次