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一文解析单轴MEMS电容式加速度计模块 来源：电子网•作者：电子网• 2020-10-02 17:44 • 次阅读 • 个评论通过AEC-Q100认证的QVGA飞行时间传感器 IC---MLX 75026，该产品现已量产。MLX 75026 是 Melexis 第三代 QVGA ToF 芯片，进一步扩展了该产品组合。
在量子效率和距离精度方面，MLX 75026 的性能是前一代 ToF 传感器 IC 的两倍。此外，MLX 75026 与第三代 VGA ToF 传感器 IC MLX 75027具有软件兼容性，可方便地实现 VGA 和 QVGA 分辨率迁移。新款传感器 IC 的尺寸减小一半，但所需计算能力只有 VGA ToF 传感器 IC MLX 75027 所需能力的 30%。 Silicon Designs的单轴MEMS电容式加速度计模块是低成本，集成，即插即用的精密测量设备。它们有五种独特的型号，每种型号都适合零频率到中频的商业和工业应用，特别是在绝对需要可靠的性能，极低的噪声和长期稳定性的情况下。 每个单轴模块均具有一个低噪声密封MEMS电容式加速度计，该加速度计安装在坚固的环氧密封阳极氧化铝外壳中。板载稳压和内部参考电压消除了对精密电源的需求。加速度计模块对温度变化和梯度相对不。它们提供两种独特的标准温度范围和封装样式，以实现价值和性能。 每个SDI单轴加速度计模块均具有密封，低噪声的SDI加速度计芯片，该芯片坚固耐用，阳极氧化铝外壳。 板载稳压和内部参考电压消除了对精密电源的需求耗材。 它们对温度变化和梯度相对不。 外壳先灌封，然后用环氧树脂密封，然后通过两个螺钉，粘合剂或附有磁铁即可轻松安装。 这款全集成解决方案是汽车应用的理想之选，例如：驾驶员监测系统 （DMS）、手部动作和可靠的手势识别 （HMI） 以及车内监测系统 （IMS）。低对比度和强日照场景通常会给传统的 2D 图像传感器 IC 带来严峻挑战，而新款传感器 IC 在这方面具有极佳的稳健性。对于数据可靠性和可用性至关重要的应用，MLX 75026 是理想之选。该芯片也面向其他市场和 QVGA 分辨率足够的应用，包括可靠的人数统计和物体 / 障碍物检测。 MLX 75026 具有 QVGA（320x240 像素）分辨率，采用 1/4 英寸光学格式，支持 850 nm 和 940 nm 两种照明。该 IC 可通过 I2C 界面进行配置，提供 CSI-2 串行数据输出。该芯片具有体积小巧、电源要求简单、功耗非常低、PCB 上外部组件数量少等特性，可用于设计尺寸紧凑且经济实惠的 ToF 摄像头。微加速度计的原理与应用在20世纪40年代初，由德国人研制了世界上第一只摆式陀螺加速度计。此后的半个多世纪以来，由于航天、航空和航海领域对惯性测量元件的需求，各种新型加速度计应运而生，性能和精度也有了很大的完善和提高2021-11-19 14:06:0914低噪声低功耗3轴MEMS加速度计ADXL354/ADXL355低噪声低功耗3轴MEMS加速度计ADXL354/ADXL3552021-06-02 11:18:4311ADXL212：精度±2 g双轴PWM输出加速度计ADXL212：精度±2 g双轴PWM输出加速度计2021-05-27 14:21:220EVAL-ADXL327Z：三轴加速度计评估板EVAL-ADXL327Z：三轴加速度计评估板2021-05-24 12:31:082UG-427：评估ADXL377三轴加速度计UG-427：评估ADXL377三轴加速度计2021-05-24 11:47:072EVAL-ADXL335Z：三轴加速度计评估板EVAL-ADXL335Z：三轴加速度计评估板2021-05-14 16:26:171EVAL-ADXL325Z：三轴加速度计评估板EVAL-ADXL325Z：三轴加速度计评估板2021-05-13 11:29:238UG-1119：评估ADXL356/ADXL357低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计UG-1119：评估ADXL356/ADXL357低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计2021-05-13 09:41:550ADXL356/ADXL357：低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计产品手册ADXL356/ADXL357：低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计产品手册2021-05-13 09:39:101用于机器健康监测的低噪声MEMS加速度计用于机器健康监测的低噪声MEMS加速度计2021-05-07 20:06:1415ADXL311EB：双轴加速度计评估板ADXL311EB：双轴加速度计评估板2021-04-26 15:39:181UG-1030：评估ADXL354/ADXL355低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计UG-1030：评估ADXL354/ADXL355低噪声、低漂移、低功耗、三轴MEMS加速度计2021-04-24 10:32:064ADXL344：3轴、±2 g/±4 g/±8 g/±16 g 超低功耗数字MEMS加速度计ADXL344：3轴、±2 g/±4 g/±8 g/±16 g 超低功耗数字MEMS加速度计2021-03-22 09:36:538ADXL343: 3轴、±2 g/±4 g/±8 g/±16 g数字MEMS加速度计ADXL343: 3轴、±2 g/±4 g/±8 g/±16 g数字MEMS加速度计2021-03-21 14:52:0410ADXL375: 3轴、±200 g数字MEMS加速度计ADXL375: 3轴、±200 g数字MEMS加速度计2021-03-21 13:50:026ADXL354/ADXL355: 低噪声、低漂移、 低功耗3轴MEMS加速度计ADXL354/ADXL355: 低噪声、低漂移、 低功耗3轴MEMS加速度计2021-03-20 21:52:094UG-242：三轴加速度计评估板UG-242：三轴加速度计评估板2021-03-19 13:26:3110ADXL701：高精密、低 g 、 数字 Z 轴加速度计ADXL701：高精密、低 g 、 数字 Z 轴加速度计2021-03-19 09:36:424基于单片机与FPGA器件EP2C35实现微加速度计测量系统的设计加速度计是一种应用十分广泛的惯性传感器，它可以用来测量运动系统的加速度。目前的加速度计大多采用微机电技术（MEMS）进行设计和制造的微型加速度计，由于采用了微机电技术，其设计尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的一小部分，MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。2020-08-20 09:51:522989振动环境下MEMS加速度计的可靠性评估本文研究的MEMS加速度计为压阻式硅微加速度计，量程为10 gn，其结构如图1所示。MEMS加速度计是由悬臂梁和质量块以及布置在梁上的压阻组成，呈双端四梁结构。2020-08-02 10:32:522525mems加速度计的组成和工作原理微机械加速度计又称mems加速度计，是微机械传感器中最重要的一种，属于惯性感器。智腾微电子生产的SiA200系列Mems加速度计主要用于航空、航海等中高端惯性领域，具有体积小、高可靠、高稳定等特点。2020-07-31 17:35:332378浅谈MEMS加速度计芯片的应用环境的信息。 MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。一个好2020-03-05 20:51:41188传感器之加速度计在惯性导航中的应用加速度计在惯性导航中的应用 加速度计是惯导系统中的最重要元件之一,用来测量沿其输入轴作用的常值和低频加速度,当前无论在航天航空,还是在其它技术领域都得到了广泛应用。近年来随着型号及其应用领域的发展2020-03-16 22:03:241037MEMS加速度计的概念以及工作原理解析MEMS加速度计的概念 加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程受到的力，就比如地球引力。 加速力可以是个常量比如mg也可以是变量。由于采用了微机电系统技术，其尺寸2020-03-31 23:19:231205浅谈Mems电容式加速度计的种类及结构Mems电容式加速度计的种类 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度计分为六大类2020-03-31 23:20:201285MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的区别是什么体有径向速度Vr，那么将会产生切向科里奥利加速度。 MEMS加速度计在较长时间的测量值是正确的，而在较短时间内由于信号噪声的存在，而有误差。陀螺仪在较短时间内则比较准确而较长时间则会有与漂移而存有误差。因此，需要两者（相互调整）来确保航向的正确。 现在一般2020-04-10 20:57:35941MEMS加速度计的运用现状及应用前景分析在鼠标的应用 MEMS加速度计的运用前景 目前利用3轴MEMS加速度计开发出的新型应用有：带有运动检测和状态感知的手机以监视手机所在位置和被使用状况。这种传感器能够提供很多功能，例如更直观的用户界面和延长电池寿命的智能电源管理。带有硬盘保护系统的笔记本计算2020-04-10 21:00:09753MEMS加速度计有哪些类型，工作原理是什么较多主要如下： 1、角振动加速度计、线振动加速度计 2、扭摆式加速度计、悬臂梁式加速度计、弹簧支撑式加速度计 3、电容式加速度计、电阻式加速度计、谐振式加速度计、热流式加速度计、隧道电流式加速度计 4、开环式加速度计、闭环式加2020-04-10 21:00:56761Mems电容式加速度计的种类（三）Mems电容式加速度计的种类（三） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度计2020-03-31 23:22:57378Mems电容式加速度计的种类（二）Mems电容式加速度计的种类（二） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度计2020-03-31 23:23:42248Mems电容式加速度计的种类（一）Mems电容式加速度计的种类（一） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度计2020-03-31 23:24:15498MEMS加速度计的概念，MEMS加速度计的原理MEMS加速度计的概念 加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程受到的力，就比如地球引力。 加速力可以是个常量比如mg也可以是变量。由于采用了微机电系统技术，其尺寸2020-03-31 23:24:501201MEMS电容式加速度芯片的工作原理介绍MEMS电容式加速度芯片的原理简介 电容式微加速度计是最常见的，也有成熟推广的产品。其基本原理就是将电容作为检测接口，来检测由于惯性力作用导致惯性质量块发生的微位移。质量块由弹性微梁支撑连接在基体上2020-05-17 21:35:101322MEMS加速度芯片的实际应用牛顿第二定律，根据基本的物理原理，在一个系统内部，速度是无法测量的，但却可以测量其加速度。如果初速度已知，就可以通过积分计算出线速度，进而可以计算出直线位移。 电容式微加速度计电容式微加速度计是最常见的，也有成熟推广的产品。其基2020-05-10 21:16:20673MEMS加速度计应用前景分析）磁盘驱动器保护 （6）MEMS加速度计在鼠标的应用 MEMS加速度计的运用前景 目前利用3轴MEMS加速度计开发出的新型应用有：带有运动检测和状态感知的手机以监视手机所在位置和被使用状况。这种传感器能够提供很多功能，例如更直观的用户界面和延长电池寿命的智能电源管理。带有2020-04-10 20:50:24884 mems加速度计的性能解答系统的设计，可变电容结构的设计，还有信号的采集等或多或少都会产生一些非线性的效应。而MEMS加速度计的关键技术就是使这些非线性效应降低到能接受的程度。选用适当的机械结构设计，或研究开发一些新型的机械结构和电路结构，使实际器2020-04-10 20:40:23244 mems加速度计的性能解答（六）系统的设计，可变电容结构的设计，还有信号的采集等或多或少都会产生一些非线性的效应。而MEMS加速度计的关键技术就是使这些非线性效应降低到能接受的程度。选用适当的机械结构设计，或研究开发一些新型的机械结构和电路结构，使实际器2020-04-10 20:40:49268MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的区别体有径向速度Vr，那么将会产生切向科里奥利加速度。 MEMS加速度计在较长时间的测量值是正确的，而在较短时间内由于信号噪声的存在，而有误差。陀螺仪在较短时间内则比较准确而较长时间则会有与漂移而存有误差。因此，需要两者（相互调整）来确保航向的正确。 现在一般2020-04-10 20:46:43894MEMS加速度计有哪些类型？较多主要如下： 1、角振动加速度计、线振动加速度计 2、扭摆式加速度计、悬臂梁式加速度计、弹簧支撑式加速度计 3、电容式加速度计、电阻式加速度计、谐振式加速度计、热流式加速度计、隧道电流式加速度计 4、开环式加速度计、闭环式加2020-04-10 20:51:221037MEMS加速度计在机器人的应用MEMS加速度计在机器人的应用 随着科技的发展人们社会中的各类智能机器也越来越多，这里对机器人的运动简单介绍。 机器人运动主要靠三轴倾角传感器进行的运动状态、姿态控制中起到非常关键的作用，MEMS2020-04-10 20:53:11481MEMS加速度计性能测评本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行2020-04-08 17:48:50763九轴传感器之加速度计是怎么回事九轴姿态传感器，包括了加速度计、陀螺仪和磁力计，为“motion detect”提供了必需的传感数据。本篇主要讲述九轴姿态传感器中的加速度计部分。2020-03-24 11:05:521616石油测井仪器专题（二）石英挠性加速度计本文针对组成测斜探管（定向传感器）的石英挠性加速度计展开介绍。 石英挠性加速度计属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。其内部构造图如下。 石英挠性加速度计的工作2020-02-25 14:52:15739Mems加速度计对于温度测量是否能做到完美传感器性能方面需要考虑许多环境因素。通常，消费级加速度计难以在动态环境中检测小于1的倾斜。为了表明这一点，我们将通用消费级加速度计与新一代低噪声、低漂移和低功耗MEMS加速度计进行比较。 这一比较着眼于倾斜应用中存在的许多误差源，以及可以2020-03-06 21:04:11399MEMS加速度计的三种类型简介牛顿第二定律根据基本的物理原理，在一个系统内部速度是无法测量的但却可以测量其加速度。 智腾mems加速度计 MEMS加速度计按技术成熟可分为三种形式：压电式、容感式、热感式。 1、压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动2020-03-05 20:53:152300MEMS加速度计芯片的使用环境你的机器人了解它现在身处的环境。是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。一个好的工程师能够使用MEMS加速度计2020-03-05 20:57:33290飞上天的关键 石英挠性加速度计石英挠性加速度计实际上就是一种可以精度测量加速度的传感器，是加速度计大家族中的一员。大家日常手机中使用的就有一种叫做MEMS加速度计的传感器，只是石英挠性加速度计比它精度更高、测得更准、应用领域也2020-03-02 20:19:341327digilent三轴MEMS加速度计传感模块介绍PmodACL2是一个由Analog Devices ADXL362驱动的三轴MEMS加速度计。2019-11-12 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17:59:336891基于ADI的MEMS加速度计关键参数和特性，选出最适合你的MEMS加速度计最新MEMS电容式加速度计应用于传统上由压电加速度计和其他传感器主导的应用领域。新一代MEMS加速度计可为CBM、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(AHM)、生命体征监测(VSM)和物联网无线传感器网络等应用提供解决方案。然而，在有如此多加速度计和如此多应用的情况下，选择合适的加速度计并非易事。2017-12-03 06:34:5311168基础加速度计传感器基础加速度计传感器2017-10-25 08:52:1324选择一个加速度计的技巧加速度计，是测量运载体线加速度的仪表。加速度计由检测质量（也称敏感质量）、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。2017-09-17 11:50:519MEMSIC攻克加速度计难题éveloppement 公司“2015 年 MEMS 行业状态报告”显示，MEMS 加速度计去年总计发货超过 20 亿台并不足为奇。有很多设计技术可用来创建加速度计。其中一种常用的技术是制造具有弹簧悬挂质量块的 MEMS 器件（图 1）。发生加速时，质量块将会产生移动进而缩短2017-09-03 09:23:417新型MEMS加速度计与商用压电(PZT)状态监控加速度计的比较今天我们将通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。2017-08-29 14:50:086036基于MEMS加速度计的振动监控解决方案MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、抗冲击性、易用性），促使一类新兴的状态监控2017-08-08 14:44:125523基于LabVIEW的加速度计模型参数辨识模块设计_郭鑫基于LabVIEW的加速度计模型参数辨识模块设计_郭鑫2017-03-19 15:31:423MEMS加速度计的温度误差建模及补偿_秦丽MEMS加速度计的温度误差建模及补偿_秦丽2017-01-11 13:19:281XL343_3轴、±2g_±4g_±8g_±16g数字MEMS加速度计XL343 3轴、±2 g±4 g±8 g±16 g数字MEMS加速度计2015-12-31 23:07:0820ADXL375_3轴、±200g数字MEMS加速度计ADXL375 3轴、±200 g数字MEMS加速度计2015-12-31 23:05:0137ADXL362_微功耗、3轴、±2g_±4g_±8g数字输出MEMS加速度计ADXL362 微功耗、3轴、±2 g±4 g±8 g数字输出MEMS加速度计2015-12-31 23:04:4238ADXL278_双轴、高g_iMEMS®加速度计ADXL278 双轴、高giMEMS®加速度计2015-12-31 23:03:4813ADXL213_低成本±1.2g双轴加速度计ADXL213 低成本±1.2 g双轴加速度计2015-12-31 23:03:3919ADI公司MEMS加速度计ADXL345简介与例程ADI公司MEMS加速度计ADXL345简介与例程2015-12-26 12:59:5755加速度计校准的基本原理加速度计校准的基本原理，四轴加速计校准基本原理，适用于各个方面。2015-12-26 11:01:2812iPhone6设计奥秘：InvenSense和Bosch加速度计iPhone6主板上有一个陀螺仪、加速度计结合后的六轴InvenSense传感器（MPU-6700）和一个博世BMA280三轴加速度计。结合这两个加速度计的原因很可能是苹果为在降低功耗的同时能提供更好的用户体验。2014-09-28 13:11:115344ADXL362：一款超低功耗、3轴MEMS加速度计ADXL362是一款超低功耗、3轴MEMS加速度计，输出数据速率为100 Hz时功耗低于2 μA，在运动触发唤醒模式下功耗为270 nA。2014-01-22 10:30:036200MEMS传感器应用实例:使用双轴加速度计进行倾斜测量本内容提供了MEMS传感器应用实例:使用双轴加速度计进行倾斜测量，使用双轴加速度计ADXL203和12位逐次逼近（SAR）型ADCAD7887，打造出一款双轴倾斜测量系统。2012-12-12 15:56:073969ADI首款MEMS加速度计ADXL350具最小与最大偏移敏感度美商亚德诺（Analog Devices， Inc.， ADI）公司推出首款具有相对于完整温度範围最小/最大偏移敏感度的微机电系统（MEMS）加速度计 ADXL350 ，这款叁轴 MEMS 加速度计具有在X与Y轴上+/-0.31 mg2012-10-22 10:59:481677基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了2012-09-21 17:19:0442ADI推出首款商用模拟三轴MEMS加速度计Analog Devices， Inc最近推出业界首款商用模拟三轴高g MEMS加速度计。ADXL377可测量±200 g满量程范围内且无信号饱和情况下由冲击和振动引起的高冲击事件的加速度。该测量范围与可连续捕捉2012-05-28 14:17:31475新型三轴电容式加速度计的设计分析设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰2012-02-29 11:48:5316MEMS加速度计和陀螺仪的相位与频率响应本内容介绍了MEMS加速度计和陀螺仪的相位与频率响应，希望对大家有所帮助2011-11-24 16:44:53184降低加速度计的平均功耗降低加速度计的平均功耗2011-11-24 17:03:5411MEMS及微机械加速度计可靠性研究摘要: 由于MEMS 器件的应用日益频繁, 其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。 以微机械加速度计为例, 指出了该加速度计的可靠性问题, 以及对其可靠性测试研究2011-03-29 15:44:4123微机械电容式加速度计检测电路设计通过对MEMs电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波作为载波。该电路由方波信号发生器2010-08-17 17:06:2622新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度走小，保证输出电压与加速度之间的线性度系统刚度可由静电力调节为了提2010-08-17 16:58:0123力平衡式三轴微加速度计的设计与分析计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计．采用硅一硅键合工艺形成作为单一检测质量块的硅片组合，利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测．通过提2010-08-09 17:13:07228检测功能的闭环加速度计接口电路设计为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性，提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前级预放大装置，对寄生电容不敏感，而且具2010-08-09 17:12:027电容式、隧道式加速度计检测技术研究本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道式加速度计的微弱信号检测电路进行了设计、测试及标定，并对电容式加速度计及所设计的检测电路进行了厚膜混2010-08-09 17:07:2113厚膜混合集成电容式加速度计设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和2010-02-21 13:59:4316三维MEMS加速度计的测试方法文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS 加速度2009-11-26 15:01:5673三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS加速度计的2009-11-14 09:03:3124电容式加速度传感器结构的计算机仿真针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理，应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模，并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一2009-07-18 15:39:3517电容式硅微加速度计在小型飞行器上的应用低成本传感器的应用是小型飞行器迅速发展的现实要求，将MEMS传感器技术结合飞行器应用是一个全新的前沿发展方向；对电容式硅微加速度计在小型飞行器上的应用进行了研究，提2009-07-16 11:56:3219梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型。从加速度计的静态输入入手，求得加速度计平衡时的输出关系式，还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响。2009-07-04 15:12:3011电容式硅微加速度计变换方程的研究研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定2009-06-22 13:12:0027